В индустрията за производство на полупроводници чистотата на чистата стая (Fab) е от решаващо значение за осигуряване на качеството на продукта. Основните източници на замърсяване в чистите помещения включват дейностите на персонала, работата на оборудването, суровините и спомагателните материали, методите на работа и работната среда, като замърсяването с прахови частици представлява най-голям дял. Тази статия ще проучи ключовите елементи на управлението на чисти помещения Fab и ще анализира как непрекъснато да подобряваме стандартите за чистота, като същевременно отговаряме на изискванията за енергийна ефективност и устойчивост.
1. Източници на замърсяване в чисти помещения и мерки за контрол
Има различни източници на замърсяване в чистите помещения на Fab, сред които замърсяването с прахови частици е най-често срещаното и предизвикателно. За да постигне различни нива на стандарти за чистота, Fab трябва да бъде оборудван със сложни системи за пречистване на въздуха, обикновено използващи HEPA (високо ефективен въздух с частици) и ULPA (ултра ниско проникване на въздух) филтри за пречистване на въздуха. Тези филтри могат ефективно да отстраняват малки частици от въздуха, като гарантират качеството на въздуха в чисти помещения. Междувременно контролирането на температурата и влажността, както и поддържането на среда с положително налягане спрямо външната част на чистата стая са важни мерки за предотвратяване на нахлуването на замърсители.
Ефективният контрол на частиците е в основата на управлението на чистите стаи на Fab. Има строги правила за влизане и излизане на персонала, както и за използване на лични предпазни средства (ЛПС). Персоналът трябва да премине през въздушен душ, преди да влезе в чистата стая, за да се намалят частиците, полепнали по дрехите. След като влезе в чистата стая, персоналът трябва да носи незапрашено облекло и маски, за да намали емисиите на човешки частици. В допълнение, приемането на усъвършенствани мерки за електростатичен контрол може да намали привличането на прах от статичното електричество и допълнително да намали рисковете от замърсяване чрез стриктни процедури за трансфер на материали, като например използване на опаковки без прах и затворени системи за трансфер.
2. Значението на мониторинга и поддръжката
Мониторингът и поддръжката са от решаващо значение, за да се гарантира, че чистите стаи Fab продължават да отговарят на установените стандарти за чистота. Това включва редовно наблюдение на качеството на въздуха, наблюдение на концентрациите на частици по време на производствените процеси и оценка на работата на оборудването. Необходим е цялостен план за поддръжка, за да се поддържа ефективната работа на чистата стая. Тези планове обикновено включват редовни проверки и поддръжка на системи за филтриране, производствено оборудване и инфраструктура за чисти стаи. Тези превантивни мерки помагат за елиминиране на потенциалните рискове от замърсяване и осигуряват устойчива стабилност на производствената среда.
В индустрията за производство на полупроводници управлението на Fab cleanrooms е изправено пред много предизвикателства. Чрез ефективни стратегии за контрол на замърсяването, непрекъснато наблюдение и поддръжка и иновативни технологии за пестене на енергия и устойчиво развитие, Fab може да поддържа ефективен и екологичен режим на производство, като същевременно подобрява стандартите за чистота. Това не само спомага за подобряване на качеството на продуктите, но и поставя основата за устойчиво развитие на цялата индустрия.
Suzhou Pharma Machinery Co., Ltd.
2024/09/6
Миа
